選擇性氧化脫硝技術的基本原理為臭氧氧化法脫硝主要是利用臭氧的強氧化性，將不可溶的低價態氮氧化物氧化為可溶的高價態氮氧化物，然后在洗滌塔內將氮氧化物吸收，達到脫除的目的。
傳統的煙氣脫硫脫硝工藝已經不能滿足嚴格的減排要求，傳統的工藝也存在設備投資高、占地面積大等缺點，因此開發工藝簡單、可靠的脫硫脫硝工藝具有重要意義。
我公司在臭氧同時脫硫脫硝過程中NO 的氧化機理進行了研究，對臭氧在煙道的投放、布氣方式、氣相混合方式，溫度控制影響、粉塵影響等做了全面的模擬實驗，總結了煙構建出O3與NOX 之間詳細的化學反應機理，該機理比較復雜。在實際試驗中，可根據低溫條件下臭氧與NO 的關鍵反應進行研究。
低溫條件下，O3與NO 之間的關鍵反應如下：
NO+O3→NO2+O2 （1）
NO2+O3→NO3+O2 （2）
NO3+NO2→N2O5 （3）
NO+O+M→NO2+M （4）
NO2+O→NO3 （5）
4NO2+O2+2H2O=4HNO3
CaO+2HNO3=Ca(NO3)2+H2O
與氣相中的其他化學物質如 CO，SOx 等相比，NOx 可以很快地被臭氧氧化，這就使得 NOx 的臭氧氧化具有很高的選擇性。因為氣相中的 NOx 被轉化成溶于水溶液的離子化合物，這就使得氧化反應更加完全，從而不可逆地脫除了 NOx，而不產生二次污染；氧化后的離子化合物和水發生反應生成硝酸及亞硝酸，在和堿性溶液發生反應酸堿中和后達到脫除的的目的。經過氧化反應，加入的臭氧被反應所消耗，過量的臭氧可以在噴淋塔中分解。除了 NOx之外，一些重金屬，如汞及其他重金屬污染物也同時被臭氧所氧化。煙氣中高濃度的粉塵或固體顆粒物不會影響到 NOx 的脫除效率。
臭氧氧化脫硝可應用于：以煤、焦炭、褐煤為燃料的公用工程鍋爐；以燃氣、煤、重油為燃料的工業鍋爐；鉛、鐵礦、鋅/銅，玻璃、水泥加工、生產的各種爐窯；用于處理生物廢料，輪胎及其他工業廢料的燃燒爐；來自于酸洗和化工過程的酸性氣流；催化裂化尾氣；各種市政及工業垃圾焚化爐等。脫硝過程是利用氧化性極強的臭氧氣體將煙氣中的NO轉換為易溶于水的NOx，產物在后級脫硫塔中被吸收。因此脫硝過程不產生直接的副產物。氧化脫硝產生副產物是硝酸鈣，和硫酸鈣離子共存且含量很低，沒有二次污染。
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